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平整度測(cè)試系統(tǒng)：OWT-200

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具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

公司名稱北京合能陽光新能源技術(shù)有限公司
品牌
型號(hào)
所在地北京市
廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
更新時(shí)間2026/4/18 10:24:12
訪問次數(shù)43

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介在線詢價(jià)

產(chǎn)品簡(jiǎn)介：OWT-200平整度測(cè)試系統(tǒng)，采用光學(xué)方法測(cè)量晶圓、藍(lán)寶石、Sic、Si、玻璃等材質(zhì)的表面特征，在無需任何接觸的情況下測(cè)量厚度、TTV、LTV、彎曲度、平整度等，可在線和離線測(cè)量

平整度測(cè)試系統(tǒng)：OWT-200 產(chǎn)品信息

                  
  
 
  
 產(chǎn)品簡(jiǎn)介：
     OWT-200平整度測(cè)試系統(tǒng)，采用光學(xué)方法測(cè)量晶圓、藍(lán)寶石、Sic、Si、玻璃等材質(zhì)的表面特征，在無需任何接觸的情況下測(cè)量厚度、TTV、LTV、彎曲度、平整度等，可在線和離線測(cè)量。
  
 產(chǎn)品特點(diǎn)：
  ■厚度、TTV、LTV、翹曲度、彎曲度、平坦度測(cè)量；
  ■無接觸測(cè)量；
  ■無需校準(zhǔn)；
  ■高精度、高重復(fù)性；
  ■樣品臺(tái)可選：4寸、6寸、8寸；
  ■強(qiáng)大的分析軟件，可顯示3D表面形貌；
  ■同時(shí)進(jìn)行各種參數(shù)的測(cè)量，具備超高的測(cè)試速度；
  
 技術(shù)參數(shù)：
  ■TTV
      ■精確度：±0.1um
      ■重復(fù)性精度：0.01um
  ■厚度
      ■精確度：±0.2um
      ■重復(fù)性精度：0.1um
      ■測(cè)試范圍：50-2000um
  ■翹曲度/彎曲度
      ■精確度：0.5um
      ■重復(fù)性精度：0.2um
      ■測(cè)試范圍：200um
  ■整機(jī)參數(shù)
      ■測(cè)量時(shí)間：<100秒
      ■測(cè)量尺寸：8寸
      ■尺寸：550*602*291mm
      ■整機(jī)功率：800W
  
 典型客戶：
 藍(lán)寶石、碳化硅、石英玻璃等透明或半透明晶片企業(yè)等。